인피니티시마(Infinitesima)는 SK하이닉스(SK hynix)가 Metron®3D 300mm 인라인(in-line) 웨이퍼 계측 시스템을 채택해 대량 생산에 적용했다고 발표했다. Metron®3D는 SK하이닉스의 차세대 메모리 디바이스 제조에 필수적인 서브 나노미터 정확도의 3차원(3D) 공정 제어를 제공한다.
이번 SK하이닉스의 양산 라인 적용은 여러 공정 단계에 대한 시스템 특성화 작업을 포함한 광범위한 평가를 거친 후 이뤄졌다.
SK하이닉스의 최영현 DMI(결함 분석, 계측 및 검사 기술) 담당 선임(Head of DMI)은 “나노미터 수준에서의 3차원 공정 제어는 첨단 DRAM 공정에서 고수율을 보장하는 데 있어서 점점 더 중요해지고 있다. 인피니티시마의 Metron®3D는 HVM 구현에 필요한 비용 효율성을 갖춘 우수한 서브 나노미터 3D 계측 성능을 입증했다”고 말했다.
Metron®3D는 통상적인 AFM 처리량보다 10배에서 100배의 AFM 계측 능력을 제공하는 인피니티시마 고유의 RPM™(Rapid Probe Microscope™) 기술을 특징으로 한다. 또한 이 시스템은 완전 자동화된 웨이퍼, 데이터, 프로브 핸들링 기능을 지원해 반도체 디바이스의 인라인 대량 생산에 최적화돼 있다. 이 계측 솔루션에 대한 투자는 SK하이닉스가 컴퓨터 메모리의 개발 및 제조 분야에서 기술 리더십을 유지하기 위해 얼마나 노력하고 있는지를 잘 보여준다.
인피니티시마의 피터 젠킨스(Peter Jenkins) 회장 겸 CEO는 “SK하이닉스와 협력하게 돼 매우 기쁘다. SK하이닉스의 지원과 지도 덕분에 우리 Metron®3D 시스템이 신속히 품질 평가를 마치고 HVM에 채택될 수 있었다”고 밝혔다.
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